|
|
Квантовая электроника, 1977, том 4, номер 1, страницы 69–75
(Mi qe8808)
|
|
|
|
Лазерный интерференционный профилограф
Н. Н. Евтихиев, Ю. А. Снежко, В. П. Тычинский, Г. Р. Левинсон, В. П. Захаров Московский институт радиотехники, электроники, автоматики
Аннотация:
Сообщается о разработке лазерного интерферометра с пространственным разрешением 15–30 мкм для измерения волнистости и отклонения формы поверхности 11–14 класса чистоты. Приводятся профилограммы различных объектов. Дается анализ влияния дестабилизирующих факторов на точность измерений.
Поступила в редакцию: 12.04.1976
Образец цитирования:
Н. Н. Евтихиев, Ю. А. Снежко, В. П. Тычинский, Г. Р. Левинсон, В. П. Захаров, “Лазерный интерференционный профилограф”, Квантовая электроника, 4:1 (1977), 69–75 [Sov J Quantum Electron, 7:1 (1977), 36–39]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe8808 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v4/i1/p69
|
|