|
Эта публикация цитируется в 43 научных статьях (всего в 43 статьях)
Синтез тонкослойных структур методом ионного наслаивания
В. П. Толстой Научно-исследовательский институт химии при Санкт-Петербургском государственном университете
Аннотация:
Обзор посвящен ионному наслаиванию – одному из методов синтеза тонкослойных структур, позволяющему наиболее точно регулировать толщину и задавать состав наносимого на поверхность подложки слоя. Библиография – 69 ссылок.
Поступила в редакцию: 08.09.1992
Образец цитирования:
В. П. Толстой, “Синтез тонкослойных структур методом ионного наслаивания”, Усп. хим., 62:3 (1993), 260–266; Russian Chem. Reviews, 62:3 (1993), 237–242
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/rcr1090 https://www.mathnet.ru/rus/rcr/v62/i3/p260
|
|