Успехи химии
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Усп. хим.:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Успехи химии, 1983, том 52, выпуск 6, страницы 922–935
DOI: https://doi.org/10.1070/RC1983v052n06ABEH002860 (Mi rcr3472) 		 
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)

О кинетике и механизме реакций растворения и окисления полупроводников

С. М. Репинский

Институт физики полупроводников СО АН СССР, г. Новосибирск
PDF полного текста Полный текст английской версии Список цитирования (2)
DOI: https://doi.org/10.1070/RC1983v052n06ABEH002860
URL: https://www.uspkhim.ru/RCR2860
Аннотация: Изложен обобщенный кинетический подход к рассмотрению процессов растворения полупроводников, в том числе процессов термического окисления кремния и германия. Подход включает статистически-термодинамический анализ адсорбционных стадий, анализ строения активированного комплекса и эффектов сольватации промежуточных и конечных продуктов, рассчитанных из модельных представлений.
Библиография – 66 ссылок.
Англоязычная версия:
Russian Chemical Reviews, 1983, Volume 52, Issue 6, Pages 524–531
DOI: https://doi.org/10.1070/RC1983v052n06ABEH002860
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 537.311.33+541.183


Образец цитирования: С. М. Репинский, “О кинетике и механизме реакций растворения и окисления полупроводников”, Усп. хим., 52:6 (1983), 922–935; Russian Chem. Reviews, 52:6 (1983), 524–531
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/rcr3472
  • https://www.mathnet.ru/rus/rcr/v52/i6/p922
    • Эта публикация цитируется в следующих 2 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Успехи химии Russian Chemical Reviews
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025