Технология, строение и свойства кремнийорганических диэлектриков – полиорганосилсесквиоксанов

Систематизированы и обобщены сведения о технологии получения полиорганосилсесквиоксанов, их строении и свойствах в сравнении с неорганическими окисными диэлектриками. Рассмотрены возможности и преимущества их применения в качестве диэлектрических материалов в полупроводниковой электронике; на основании анализа литературных данных по их экспериментальному исследованию сделан вывод об определяющем влиянии способа получения на механизм формирования молекул олигомеров, их превращения в полимеры и взаимодействия с различными подложками.
Библиография – 281 ссылка.