Алгоритм контроля процесса напыления оптических покрытий на основе выборочных данных широкополосных измерений

Рассмотрен алгоритм контроля процесса напыления оптических покрытий на основе анализа выборочных данных широкополосных измерений для фиксированного набора длин волн. Рассмотренный алгоритм, с одной стороны, использует данные широкополосных измерений, что является преимуществом по сравнению с использованием данных только монохроматических измерений для одной фиксированной длины волны, а с другой — является быстродействующим по сравнению с алгоритмами, использующими полные данные широкополосных измерений. Продемонстрировано, что предложенный алгоритм позволяет получать достаточно точные оценки толщин слоёв напыляемых многослойных оптических покрытий.