Вакуумное ультрафиолетовое излучение плазменной струи

Представлена связь между излучательными параметрами горячей плазмы за счет фоторекомбинации электронов и ионов, а также с плотностью электронов и температурой электронов в плазме. Полученные соотношения применены для анализа газоразрядной гелиевой плазмы, исследованной экспериментально в рамках конкретной схемы газового разряда. Показано, что такая плазма, из которой выделена центральная часть в результате истечения из области газового разряда через отверстие, является эффективным источником излучения в области вакуумного ультрафиолета. Такой источник может быть использован для литографии.