Успехи физических наук
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Скоро в журнале
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


УФН:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Успехи физических наук, 2020, том 190, номер 1, страницы 92–106
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNr.2019.05.038623 (Mi ufn6629) 		 
Эта публикация цитируется в 53 научных статьях (всего в 53 статьях)

КОНФЕРЕНЦИИ И СИМПОЗИУМЫ

Многослойная рентгеновская оптика на основе бериллия

В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Н. И. Чхало

Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
PDF полного текста (1046 kB) Список цитирования (53)
Список литературы:
PDF
HTML
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNr.2019.05.038623
Аннотация: Даётся обзор современного состояния области физики и технологии многослойных бериллийсодержащих зеркал, предназначенных для проекционной литографии и изучения короны Солнца в вакуумном ультрафиолетовом (ВУФ) диапазоне. Описывается методика изготовления и изучения бериллийсодержащих многослойных зеркал. Приводятся результаты последних исследований внутреннего строения и коэффициентов отражения в ВУФ-диапазоне многослойных зеркал Mo/Be, Mo/Si, Be/Al и Be/Mg. Объясняется влияние Si- и Be-прослоек на коэффициенты отражения. Обсуждаются направления дальнейших исследований по бериллийсодержащим зеркалам.
Ключевые слова: многослойное рентгеновское зеркало, рентгеновская проекционная фотолитография, микроскопия, астрономия, спектроскопия, рефлектометрия, магнетронное распыление, синтез наноплёнок, бериллий, коэффициент отражения, прослойка.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации 0035-2014-0204
Российский фонд фундаментальных исследований 18-32-00173
19-07-00173
19-02-00081
18-02-173
18-02-00588
17-52-150006
18-42-520007
18-32-00671
Работа выполнена в рамках государственного задания ИФМ РАН (тема 0035-2014-0204) при поддержке Российским фондом фундаментальных исследований (гранты 19-07-00173, 19-02-00081, 18-02-00173, 18-02-00588, 17-52-150006, 18-42-520007, 18-32-00671, 18-32-00173).
Поступила: 18 июля 2019 г.
Одобрена в печать: 22 мая 2019 г.
Англоязычная версия:
Physics–Uspekhi, 2020, Volume 63, Issue 1, Pages 83–95
DOI: https://doi.org/10.3367/UFNe.2019.05.038623
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
PACS: 07.60.-j, 07.85.Fv, 42.79.-e, 68.35.Ct, 68.35.Fx, 68.47.De, 68.55.A-, 68.65.Ac, 81.15.-z
Образец цитирования: В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Н. И. Чхало, “Многослойная рентгеновская оптика на основе бериллия”, УФН, 190:1 (2020), 92–106; Phys. Usp., 63:1 (2020), 83–95
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{PolSalSve20}
\by В.~Н.~Полковников, Н.~Н.~Салащенко, М.~В.~Свечников, Н.~И.~Чхало
\paper Многослойная рентгеновская оптика на основе бериллия
\jour УФН
\yr 2020
\vol 190
\issue 1
\pages 92--106
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ufn6629}
\crossref{https://doi.org/10.3367/UFNr.2019.05.038623}
\adsnasa{https://adsabs.harvard.edu/cgi-bin/bib_query?2020PhyU...63...83P}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=43270021}
\transl
\jour Phys. Usp.
\yr 2020
\vol 63
\issue 1
\pages 83--95
\crossref{https://doi.org/10.3367/UFNe.2019.05.038623}
\isi{https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=Publons&SrcAuth=Publons_CEL&DestLinkType=FullRecord&DestApp=WOS_CPL&KeyUT=000537855600007}
\scopus{https://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-85084758667}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ufn6629
  • https://www.mathnet.ru/rus/ufn/v190/i1/p92
    КОНФЕРЕНЦИИ И СИМПОЗИУМЫ
    Эта публикация цитируется в следующих 53 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Успехи физических наук Physics-Uspekhi
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025