Ученые записки Ереванского государственного университета, серия Физические и Математические науки
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Уч. записки ЕГУ, сер. Физика и Математика:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Ученые записки Ереванского государственного университета, серия Физические и Математические науки, 2010, выпуск 3, страницы 63–67 (Mi uzeru227)  
Physics

Method for measuring thickness of thin objects with a nanometer resolution, based on the single-layer flat-coil-oscillator method
[Метод измерения толщины пленок с нанометрическим разрешением, основанный на автогенераторе с плоской однослойной катушкой]

S. G. Gevorgyanab, S. T. Muradyanca, M. H. Azaryana, G. H. Karapetyanab

a Center on Superconductivity and Scientific Instrumentation, Chair of Solid State Physics YSU, Armenia
b Institute for Physical Research, Nat. Academy of Sci., Armenia
c Russian-Armenian (Slavonic) State University, Yerevan
PDF полного текста (417 kB)
Список литературы:
PDF
HTML
Аннотация: Предложен и экспериментально обоснован метод измерения толщины пленок и лент с нанометрическим разрешением. Он основан на автогенераторе с плоской однослойной приемной катушкой. Осуществлены разработка, создание, калибровка и предварительное испытание лабораторного макета созданного по этому методу устройства, а также организовано компьютерное управление им в программной среде «NI LabVIEW». Метод может найти широкое применение как при решении научных задач, так и в микро- и нанотехнологии.
Ключевые слова: single-layer Flat-Coil-Oscillator method, a nanometer resolution thickness measuring and controlling technique, high-$T_c$ superconductive films and tapes.
Финансовая поддержка Номер гранта
Armenian National Foundation of Science $\&$ Advanced Technologies, U.S. Civilian Research $\&$ Development Foundation, R$\&$D project #ISIPA 01-04, #ARP2-3229-YE-04, #UCEP 07/07, #72-103
Работа выполнена при поддержке Армянского Национального Фонда Науки и Передовых Технологий и Фонда гражданских исследований и развития США гранты #ISIPA 01-04, #ARP2-3229-YE-04 и #UCEP 07/07. А также в рамках проекта R$\&$D#72-103 гоц. ресурсов РА
Поступила в редакцию: 16.09.2010
Принята в печать: 11.10.2010
Тип публикации: Статья
Язык публикации: английский
Образец цитирования: S. G. Gevorgyan, S. T. Muradyan, M. H. Azaryan, G. H. Karapetyan, “Method for measuring thickness of thin objects with a nanometer resolution, based on the single-layer flat-coil-oscillator method”, Уч. записки ЕГУ, сер. Физика и Математика, 2010, no. 3, 63–67
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{GevMurAza10}
\by S.~G.~Gevorgyan, S.~T.~Muradyan, M.~H.~Azaryan, G.~H.~Karapetyan
\paper Method for measuring thickness of thin objects with a nanometer resolution, based on the single-layer flat-coil-oscillator method
\jour Уч. записки ЕГУ, сер. Физика и Математика
\yr 2010
\issue 3
\pages 63--67
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/uzeru227}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/uzeru227
  • https://www.mathnet.ru/rus/uzeru/y2010/i3/p63
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Ученые записки Ереванского государственного университета, серия Физические и Математические науки
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025