Прямая и обратная задачи определения параметров многослойных наноструктур по угловому спектру интенсивности отраженного рентгеновского излучения

Изучаются математические модели и методы, позволяющие по угловому спектру интенсивности отраженного рентгеновского излучения (РИ) определять величину шероховатости и другие параметры многослойных наноструктур. Предлагаемая математическая модель для решения прямой задачи распространения РИ и распределения его электромагнитного поля внутри многослойной наноструктуры учитывает эффект рефракции за счет наличия второй производной по глубине структуры. Разработан численный метод решения полученной задачи, и дан анализ результатов вычислительных экспериментов. Для решения обратной задачи предлагается использовать аппроксимационно-комбинаторный метод декомпозиции и композиции систем. Библ. 9. Фиг. 4.