|
Эта публикация цитируется в 39 научных статьях (всего в 39 статьях)
ПРИБОРЫ И МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЙ
Методы трёхмерной печати микро- и наноструктур
К. Б. Фрицлер, В. Я. Принц Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск
Аннотация:
Представлены физические и физико-химические основы трёхмерной (3D) микро- и нанопечати. 3D печать или аддитивные технологии — это процесс формирования структур и приборов посредством послойного нанесения материала в соответствии с объёмной цифровой моделью. Обзор ограничен рассмотрением методов и результатов в микро- и нанообласти, которые востребованы в электронике, фотонике и бионике. Особое внимание уделено методам, позволяющим формировать структуры с размерами менее 100 нм: стереолитографии, основанной на одно- и двухфотонной полимеризации, электрогидродинамической струйной печати и прямому лазерному переносу. Рассмотрены преимущества и недостатки, а также перспективы развития и практического применения методов 3D печати.
Ключевые слова:
3D печать, аддитивные технологии, 3D наноструктуры, стереолитография, двухфотонная полимеризация, струйная печать, электрогидродинамическая печать, прямой лазерный перенос.
Поступила: 5 июня 2017 г. Одобрена в печать: 10 ноября 2017 г.
Образец цитирования:
К. Б. Фрицлер, В. Я. Принц, “Методы трёхмерной печати микро- и наноструктур”, УФН, 189:1 (2019), 55–71; Phys. Usp., 62:1 (2019), 54–69
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ufn6054 https://www.mathnet.ru/rus/ufn/v189/i1/p55
|
| Статистика просмотров: |
| Страница аннотации: | 428 | | PDF полного текста: | 71 | | Список литературы: | 56 | | Первая страница: | 11 |
|