Персоналии
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
 
Чхало Николай Иванович
член-корреспондент РАН
доктор физико-математических наук (2009)
Специальность ВАК: 01.04.01 (приборы и методы экспериментальной физики)
E-mail: ,
Сайт: http://www.ipmras.ru/institute/persons/staff/74-chkhalo-nikolay-ivanovich/

Основные темы научной работы

Рентгеновская оптика, физика поверхности и тонких плёнок, оптическая интерферометрия, источники рентгеновского излучения, проекционная литография

https://www.mathnet.ru/rus/person54678
Список публикаций на Google Scholar

Публикации в базе данных Math-Net.Ru Цитирования
2025
1. Е. И. Глушков, И. В. Малышев, А. И. Николаев, Е. В. Петраков, Н. И. Чхало, Р. А. Шапошников, “Автоматизированная система для измерения формы поверхности крупногабаритных плоских и цилиндрических зеркал на интерферометре типа Физо”, ЖТФ, 95:10 (2025),  1984–1994  mathnet  elib
2. Ю. В. Хомяков, О. И. Мешков, В. П. Назьмов, Я. В. Ракшун, В. А. Чернов, Н. И. Чхало, “Диагностика электронного пучка ЦКП “СКИФ” в жестком рентгеновском диапазоне”, ЖТФ, 95:10 (2025),  1973–1983  mathnet  elib
3. Е. И. Глушков, А. А. Ахсахалян, П. А. Вепрев, И. Г. Забродин, М. В. Зорина, И. В. Малышев, М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, Е. В. Петраков, Р. С. Плешков, Е. С. Антюшин, В. Н. Полковников, Д. Г. Реунов, А. Б. Уласевич, А. К. Чернышев, Н. И. Чхало, Р. А. Шапошников, Я. В. Ракшун, Ю. В. Хомяков, В. А. Чернов, И. П. Долбня, “Двухзеркальный монохроматор для синхротрона “СКИФ” поколения 4+”, ЖТФ, 95:10 (2025),  1963–1972  mathnet  elib
4. Д. Г. Реунов, А. Д. Ахсахалян, Е. И. Глушков, И. П. Долбня, И. Г. Забродин, И. А. Каськов, И. В. Малышев, М. С. Михайленко, Е. В. Петраков, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, А. К. Чернышев, Н. И. Чхало, “Фокусирующая система Киркпатрика–Баеза для синхротронных применений”, ЖТФ, 95:10 (2025),  1954–1962  mathnet  elib
5. Н. В. Загайнов, С. А. Гарахин, С. С. Морозов, В. Н. Полковников, Н. И. Чхало, “Восстановление оптических констант тонких пленок в ЭУФ диапазоне по данным лабораторной рефлектометрии”, ЖТФ, 95:10 (2025),  1946–1953  mathnet  elib
6. М. М. Барышева, Н. И. Чхало, Ю. А. Вайнер, М. В. Зорина, М. С. Михайленко, Р. М. Смертин, “Применимость интерферометров белого света для измерения шероховатости рентгенооптических элементов”, ЖТФ, 95:10 (2025),  1887–1897  mathnet  elib
7. С. С. Морозов, М. Ю. Знаменский, С. А. Гарахин, М. В. Зорина, Д. Г. Реунов, Б. А. Уласевич, Н. И. Чхало, “Компактный спектрограф на основе VLS-решетки для диапазона 3–20 nm”, ЖТФ, 95:10 (2025),  1879–1886  mathnet  elib
8. А. Е. Пестов, М. С. Михайленко, А. К. Чернышев, Н. И. Чхало, И. Г. Забродин, А. И. Николаев, И. А. Каськов, Е. С. Антюшин, “Установка ионно-пучковой коррекции и асферизации формы поверхности оптических элементов УИП-300”, ЖТФ, 95:9 (2025),  1825–1835  mathnet  elib
9. Р. А. Шапошников, С. А. Гарахин, В. Н. Полковников, Н. И. Чхало, “Структурные и отражательные характеристики Cr/C многослойных зеркал, полученных методом реактивного распыления”, ЖТФ, 95:9 (2025),  1817–1824  mathnet  elib
10. К. В. Дуров, А. Д. Ахсахалян, И. В. Малышев, В. Н. Полковников, Н. И. Чхало, “Многослойные структуры NiMo/C, изготовленные методом реактивного магнетронного распыления”, ЖТФ, 95:9 (2025),  1808–1816  mathnet  elib
11. В. Е. Гусева, А. Н. Нечай, А. А. Перекалов, Н. И. Чхало, “Радиальное распределение излучающих центров в лазерной плазме Ar”, ЖТФ, 95:9 (2025),  1647–1655  mathnet  elib
12. А. А. Перекалов, В. Е. Гусева, А. Н. Нечай, Н. И. Чхало, П. А. Вепрев, А. И. Артюхов, “Экспериментальный стенд для изучения характеристик мощных лазерно-плазменных источников ЭУФ излучения”, ЖТФ, 95:9 (2025),  1639–1646  mathnet  elib
13. А. Н. Нечай, В. Е. Гусева, А. А. Перекалов, Н. И. Чхало, “Расчетное и экспериментальное определение длины лазерной искры в газоструйных мишенях”, ЖТФ, 95:7 (2025),  1289–1296  mathnet  elib
14. В. Е. Гусева, И. Г. Забродин, А. Н. Нечай, А. А. Перекалов, Н. И. Чхало, “Поглощение энергии лазерного излучения в лазерно-плазменном источнике излучения с газоструйными мишенями”, ЖТФ, 95:7 (2025),  1283–1288  mathnet  elib
15. Р. А. Шапошников, В. Н. Полковников, Н. И. Чхало, С. А. Гарахин, “Исследование структурных и отражательных характеристик многослойных рентгеновских зеркал на основе пары материалов Ru/B”, Письма в ЖТФ, 51:1 (2025),  57–60  mathnet  elib
2024
16. А. Я. Лопатин, В. И. Лучин, А. Н. Нечай, А. А. Перекалов, А. Е. Пестов, Д. Г. Реунов, Н. И. Чхало, “Стенд для тестирования чувствительных к экстремальному ультрафиолетовому излучению фоторезистов”, ЖТФ, 94:8 (2024),  1323–1330  mathnet  elib
17. И. В. Малышев, Д. Г. Реунов, Н. И. Чхало, М. Н. Торопов, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, А. К. Чернышев, Р. С. Плешков, Е. П. Казаков, С. В. Лаврушкина, С. А. Голышев, А. Д. Поспелов, О. М. Широкова, “Корреляционная экстремальная ультрафиолетовая, ультрафиолетовая и оптическая микроскопия на базе зеркального микроскопа с аксиальной томографией”, ЖТФ, 94:8 (2024),  1302–1313  mathnet  elib
18. А. И. Артюхов, С. С. Морозов, Д. В. Петрова, Н. И. Чхало, Р. А. Шапошников, “Безмасочный литограф прямого рисования. Конструкция, устройство и применение”, ЖТФ, 94:8 (2024),  1295–1301  mathnet  elib
19. К. В. Дуров, С. А. Минеев, В. Н. Полковников, Н. И. Чхало, “Высокоградиентная асферизация подложек тонкопленочными покрытиями Al/Si”, ЖТФ, 94:8 (2024),  1288–1294  mathnet  elib
20. К. В. Дуров, В. Н. Полковников, Н. И. Чхало, А. А. Ахсахалян, И. В. Малышев, “Многослойные структуры на основе Ni для зеркал гебелевского типа”, ЖТФ, 94:8 (2024),  1280–1287  mathnet  elib
21. Р. С. Плешков, С. А. Гарахин, Е. И. Глушков, В. Н. Полковников, Е. Д. Чхало, Н. И. Чхало, “Исследование структурных и отражательных характеристик короткопериодных Mo/Be многослойных рентгеновских зеркал”, ЖТФ, 94:8 (2024),  1269–1279  mathnet  elib
22. Р. А. Шапошников, Н. В. Загайнов, В. Н. Полковников, Н. И. Чхало, С. А. Гарахин, С. Ю. Зуев, “Многослойные рентгеновские зеркала на основе бора для спектрального диапазона 6.7–9 nm”, ЖТФ, 94:8 (2024),  1260–1268  mathnet  elib
23. С. А. Гарахин, Е. С. Антюшин, М. М. Барышева, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Р. С. Плешков, Р. М. Смертин, Н. И. Чхало, “Многослойные зеркала на основе Cr/Ti для рентгеновской микроскопии “в окне прозрачности воды””, ЖТФ, 94:8 (2024),  1250–1259  mathnet  elib
24. А. Я. Лопатин, А. Н. Нечай, А. А. Перекалов, А. Е. Пестов, А. А. Соловьев, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, Д. С. Дмитриев, “Капсульная газонаполненная мишень для лазерно-плазменного экстремального ультрафиолетового источника”, ЖТФ, 94:7 (2024),  1174–1181  mathnet  elib
25. Л. И. Горай, А. С. Дашков, Н. А. Костромин, Д. В. Мохов, Т. Н. Березовская, К. Ю. Шубина, Е. В. Пирогов, В. А. Шаров, С. А. Гарахин, М. В. Зорина, Р. С. Плешков, Н. И. Чхало, А. Д. Буравлев, “Высокочастотные дифракционные Mo/Be-решетки с малым углом блеска–исследование эффективности”, ЖТФ, 94:7 (2024),  1128–1135  mathnet  elib
26. Д. В. Мохов, Т. Н. Березовская, Е. В. Пирогов, К. Ю. Шубина, Н. Д. Прасолов, М. В. Зорина, С. А. Гарахин, Р. С. Плешков, Н. И. Чхало, А. С. Дашков, Н. А. Костромин, Л. И. Горай, А. Д. Буравлев, “Высокочастотные многослойные дифракционные Si-решетки с малым углом блеска – изготовление”, ЖТФ, 94:7 (2024),  1119–1127  mathnet  elib
27. Н. Н. Цыбин, Е. Б. Клюенков, А. Я. Лопатин, В. И. Лучин, А. Е. Пестов, Н. И. Чхало, “Применение метода ионно-пучкового травления свободновисящих пленок для разработки пленочных корректоров экстремального ультрафиолетового диапазона длин волн”, ЖТФ, 94:7 (2024),  1029–1035  mathnet  elib
28. К. П. Гайкович, И. В. Малышев, Д. Г. Реунов, Н. И. Чхало, “Исследования микроскопической рентгеновской томографии”, ЖТФ, 94:7 (2024),  992–1001  mathnet  elib
2023
29. М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, А. К. Чернышев, Н. И. Чхало, “Изучение угловых зависимостей скоростей ионно-пучкового распыления металлов для синтеза заготовок фотошаблонов”, ЖТФ, 93:7 (2023),  1051–1053  mathnet  elib
30. М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, А. К. Чернышев, М. В. Зорина, Н. И. Чхало, Н. Н. Салащенко, “Изучение влияния энергии ионов неона на шероховатость поверхности основных срезов монокристаллического кремния при ионном травлении”, ЖТФ, 93:7 (2023),  1046–1050  mathnet  elib 1
31. Д. В. Петрова, М. С. Михайленко, М. В. Зорина, М. Н. Дроздов, А. Е. Пестов, Н. И. Чхало, “Нанесение жидкого стекла на подложки оптических элементов и его молекулярный состав”, ЖТФ, 93:7 (2023),  1037–1045  mathnet  elib
32. Д. Г. Реунов, Н. С. Гусев, М. С. Михайленко, Д. В. Петрова, И. В. Малышев, Н. И. Чхало, “Подложки для мягкой рентгеновской микроскопии на основе Si$_3$N$_4$ мембран”, ЖТФ, 93:7 (2023),  1032–1036  mathnet  elib
33. И. В. Малышев, Н. И. Чхало, С. Н. Якунин, “Проект рентгенооптической схемы литографа с динамической маской пропускающего типа и синхротронным источником излучения”, ЖТФ, 93:7 (2023),  980–987  mathnet  elib
34. И. В. Малышев, М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, М. Н. Торопов, А. К. Чернышев, Н. И. Чхало, “Внеосевой асферический коллектор для экстремальной ультрафиолетовой литографии и мягкой рентгеновской микроскопии”, ЖТФ, 93:7 (2023),  963–967  mathnet  elib
35. В. Н. Полковников, Н. И. Чхало, Р. А. Шапошников, А. Д. Николенко, “Короткопериодные многослойные зеркала для высокоразрешающего монохроматора многослойное зеркало/кристалл”, ЖТФ, 93:7 (2023),  943–947  mathnet  elib
36. Р. А. Шапошников, С. А. Гарахин, К. В. Дуров, В. Н. Полковников, Н. И. Чхало, “Исследование свойств многослойных зеркал на основе пары материалов Mo/B$_4$C”, ЖТФ, 93:7 (2023),  931–935  mathnet  elib
37. А. Я. Лопатин, В. И. Лучин, А. Н. Нечай, А. А. Перекалов, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, А. А. Соловьев, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, “Эмиссионные характеристики лазерно-плазменного источника экстремального ультрафиолетового излучения с тонкопленочными мишенями”, ЖТФ, 93:7 (2023),  892–896  mathnet  elib
38. К. П. Гайкович, И. В. Малышев, Д. Г. Реунов, Н. И. Чхало, “Теория аксиальной томографии на основе обратного преобразования Радона для высокоапертурной мягкой рентгеновской микроскопии”, ЖТФ, 93:7 (2023),  867–879  mathnet  elib
39. В. Е. Гусева, С. А. Гарахин, А. Н. Нечай, А. А. Перекалов, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, “Исследование эмиссионных спектров Cl-, Br-, I-содержащих мишеней в спектральном диапазоне 3–6.5 нм при возбуждении импульсным лазерным излучением”, Квантовая электроника, 53:5 (2023),  425–429  mathnet [V. E. Guseva, S. A. Garakhin, A. N. Nechai, A. A. Perekalov, N. N. Tsybin, N. I. Chkhalo, “Study of the emission spectra of Cl-, Br-, I-containing targets in the spectral range of 3–6.5 nm when excited by pulsed laser radiation”, Bull. Lebedev Physics Institute, 50:suppl. 9 (2023), S1042–S1049]
2022
40. Н. И. Чхало, А. А. Ахсахалян, М. В. Зорина, М. Н. Торопов, Ю. М. Токунов, “Методика получения атомарно гладких подложек из монокристаллического кремния методом механического притира”, ЖТФ, 92:8 (2022),  1267–1272  mathnet  elib 1
41. Н. И. Чхало, С. А. Гарахин, И. В. Малышев, В. Н. Полковников, М. Н. Торопов, Н. Н. Салащенко, Б. А. Уласевич, Я. В. Ракшун, В. А. Чернов, С. В. Ращенко, И. П. Долбня, “Проект двухзеркального монохроматора на диапазон энергий фотонов 8–36 keV для синхротрона “CКИФ””, ЖТФ, 92:8 (2022),  1261–1266  mathnet  elib 2
42. М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, А. К. Чернышев, А. А. Перекалов, М. В. Зорина, Н. И. Чхало, “Перспективы применения реактивного ионно-пучкового травления плавленого кварца смесью тетрафторметана и аргона для асферизации поверхности оптических элементов”, ЖТФ, 92:8 (2022),  1248–1252  mathnet  elib
43. М. В. Зорина, М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, М. Н. Торопов, А. К. Чернышев, Н. И. Чхало, С. К. Гордеев, В. В. Виткин, “Алмаз-карбид-кремниевый композит “скелетон” как перспективный материал для подложек рентгенооптических элементов”, ЖТФ, 92:8 (2022),  1238–1242  mathnet  elib
44. А. Е. Пестов, М. С. Михайленко, А. К. Чернышев, М. В. Зорина, Н. И. Чхало, “Модель физического распыления аморфных материалов”, ЖТФ, 92:8 (2022),  1230–1237  mathnet  elib
45. М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, А. К. Чернышев, М. В. Зорина, Н. И. Чхало, Н. Н. Салащенко, “Изучение влияния энергии ионов аргона на шероховатость поверхности основных срезов монокристаллического кремния”, ЖТФ, 92:8 (2022),  1219–1223  mathnet  elib 1
46. Н. И. Чхало, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Р. А. Шапошников, “Перспективные длины волн для проекционной литографии с использованием синхротронного излучения”, ЖТФ, 92:8 (2022),  1207–1212  mathnet  elib 1
47. Е. С. Антюшин, А. А. Ахсахалян, С. Ю. Зуев, А. Я. Лопатин, И. В. Малышев, А. Н. Нечай, А. А. Перекалов, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, М. Н. Торопов, Б. А. Уласевич, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, А. А. Соловьев, М. В. Стародубцев, “Система визуализации плазменного факела бетатронного источника рентгеновского излучения”, ЖТФ, 92:8 (2022),  1202–1206  mathnet  elib 2
48. С. А. Гарахин, А. Я. Лопатин, А. Н. Нечай, А. А. Перекалов, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, “Тонкопленочные Al-мишени для лазерно-плазменного источника экстремального ультрафиолетового излучения”, ЖТФ, 92:8 (2022),  1199–1201  mathnet  elib
49. В. Е. Гусева, А. Н. Нечай, А. А. Перекалов, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, “Исследование эмиссионных свойств газоструйных мишеней в “водном окне прозрачности” 2.3–4.4 nm при импульсном лазерном возбуждении”, ЖТФ, 92:8 (2022),  1185–1191  mathnet  elib
50. Р. А. Шапошников, С. Ю. Зуев, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, “Многослойные зеркала Ru/Sr для спектрального диапазона 9–12 nm”, ЖТФ, 92:8 (2022),  1179–1184  mathnet  elib
51. М. М. Барышева, С. А. Гарахин, А. Я. Лопатин, В. И. Лучин, И. В. Малышев, Н. Н. Салащенко, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, “Поиск прочных многослойных композиций свободновисящих фильтров с высоким коэффициентом пропускания в диапазоне длин волн “водного окна” (2.3–4.4 nm)”, ЖТФ, 92:8 (2022),  1130–1136  mathnet  elib 1
52. С. А. Гарахин, И. С. Дубинин, С. Ю. Зуев, В. Н. Полковников, Н. И. Чхало, “Исследование и создание широкополосных рентгеновских зеркал со спектральной полосой пропускания, совпадающей с эмиссионными линиями и возможностью фильтрации”, ЖТФ, 92:8 (2022),  1107–1112  mathnet  elib 1
53. С. Ю. Зуев, А. Я. Лопатин, В. И. Лучин, Н. Н. Салащенко, Д. А. Татарский, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, “Сравнительное исследование термостойкости пелликлов на основе бериллия”, ЖТФ, 92:1 (2022),  92–99  mathnet  elib 2
54. В. Е. Гусева, А. Н. Нечай, А. А. Перекалов, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, “Эмиссионные спектры жидкоструйных мишеней гексана C$_6$Н$_{14}$, дихлорметана CH$_2$Cl$_2$, бромистого метилена CH$_3$Br в диапазоне 4–20 nm при импульсном лазерном возбуждении”, Оптика и спектроскопия, 130:7 (2022),  991–995  mathnet  elib 1
55. В. Е. Гусева, А. Н. Нечай, А. А. Перекалов, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, “Эмиссионные спектры молекулярных газов CHF$_3$, CCl$_2$F$_2$, SF$_6$ в диапазоне 3–20 nm при импульсном лазерном возбуждении с использованием различных газовых струй в качестве мишеней”, Оптика и спектроскопия, 130:2 (2022),  217–223  mathnet  elib 1
56. Л. И. Горай, Т. Н. Березовская, Д. В. Мохов, В. А. Шаров, К. Ю. Шубина, Е. В. Пирогов, А. С. Дашков, А. В. Нащекин, М. В. Зорина, М. М. Барышева, С. А. Гарахин, С. Ю. Зуев, Н. И. Чхало, “Изготовление и тестирование в мягком рентгеновском и ЭУФ диапазонах дифракционных решеток с Au- и многослойным Mo/Si-покрытиями и с блеском в высоких порядках”, Квантовая электроника, 52:10 (2022),  955–962  mathnet [L. I. Goray, T. N. Berezovskaya, D. V. Mokhov, V. A. Sharov, K. Yu. Shubina, E. V. Pirogov, A. S. Dashkov, A. V. Nashchekin, M. V. Zorina, M. M. Barysheva, S. A. Garakhin, S. Yu. Zuev, N. I. Chkhalo, “Fabrication and testing of Au- and multilayer Mo/Si-coated diffraction gratings with high-order brilliance in high orders in the soft X-ray and EUV ranges”, Bull. Lebedev Physics Institute, 50:suppl. 2 (2023), S250–S261] 3
2021
57. Н. И. Чхало, А. А. Ахсахалян, Ю. А. Вайнер, М. В. Зорина, А. Е. Пестов, М. В. Свечников, М. Н. Торопов, N. Kumar, Ю. М. Токунов, “Применение нанопорошков окиси церия для полировки кремния”, ЖТФ, 91:10 (2021),  1588–1596  mathnet  elib 1
58. М. Н. Торопов, А. А. Ахсахалян, И. В. Малышев, М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, А. К. Чернышов, Н. И. Чхало, “Линзовый корректор волнового фронта для изучения плоских поверхностей”, ЖТФ, 91:10 (2021),  1583–1587  mathnet  elib 1
59. А. А. Ахсахалян, С. А. Гарахин, Ф. А. Дарьин, М. В. Зорина, В. В. Кривенцов, Д. Д. Першин, А. Е. Пестов, Р. С. Плешков, В. Н. Полковников, Я. В. Ракшун, Н. Н. Салащенко, С. С. Светохин, М. В. Свечников, Д. С. Сороколетов, В. А. Чернов, Н. И. Чхало, “Изготовление и исследование зеркал с широкой полосой пропускания для синхротронных применений”, ЖТФ, 91:10 (2021),  1524–1531  mathnet  elib
60. С. А. Гарахин, И. Г. Забродин, С. Ю. Зуев, А. Я. Лопатин, А. Н. Нечай, А. Е. Пестов, А. А. Перекалов, Р. С. Плешков, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Р. М. Смертин, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, “Измерения абсолютных значений интенсивности излучения в диапазоне длин волн 6.6–32 nm мишени из нержавеющей стали при импульсном лазерном возбуждении”, ЖТФ, 91:10 (2021),  1448–1453  mathnet  elib
61. С. В. Кузин, С. А. Богачев, Н. Ф. Ерхова, А. А. Перцов, И. П. Лобода, А. А. Рева, А. А. Холодилов, А. С. Ульянов, А. С. Кириченко, И. В. Малышев, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, М. Н. Торопов, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, В. А. Крюковский, В. Н. Горев, А. А. Дорошкин, А. М. Задорожный, В. Ю. Прокопьев, “Солнечный телескоп вакуумного ультрафиолетового диапазона для наноспутников”, ЖТФ, 91:10 (2021),  1441–1447  mathnet  elib 1
62. А. Н. Нечай, А. А. Перекалов, Н. И. Чхало, Н. Н. Салащенко, “Эмиссионные спектры молекулярных газов N$_{2}$ и CO$_{2}$ в диапазоне 3–20 nm при импульсном лазерном возбуждении с использованием различных газовых струй в качестве мишеней”, Оптика и спектроскопия, 129:6 (2021),  755–759  mathnet  elib; A. N. Nechai, A. A. Perekalov, N. I. Chkhalo, N. N. Salashchenko, “Emission spectra of molecular gases N$_2$ and CO$_2$ in the range 3–20 nm under pulsed laser excitation using various gas jets as targets”, Optics and Spectroscopy, 129:7 (2021), 789–793 2
63. А. Н. Нечай, А. А. Перекалов, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, “Эмиссионные спектры тяжелых инертных газов Kr, Xe в диапазоне 3–20 nm при импульсном лазерном возбуждении с использованием различных газовых струй в качестве мишеней”, Оптика и спектроскопия, 129:3 (2021),  266–271  mathnet  elib; A. N. Nechai, A. A. Perekalov, N. N. Salashchenko, N. I. Chkhalo, “Emission spectra of heavy inert gases Kr, Xe in the range 3–20 nm under pulsed laser excitation using various gas jets as targets”, Optics and Spectroscopy, 129:3 (2021), 363–368 11
64. А. Н. Нечай, А. А. Перекалов, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, “Эмиссионные спектры легких инертных газов Ne и Ar в диапазоне 3–20 nm при импульсном лазерном возбуждении с использованием различных газовых струй в качестве мишеней”, Оптика и спектроскопия, 129:2 (2021),  146–152  mathnet  elib; A. N. Nechai, A. A. Perekalov, N. N. Salashchenko, N. I. Chkhalo, “Emission spectra of light inert gases Ne and Ar in the range 3–20 nm under pulsed laser excitation using various gas jet-targets”, Optics and Spectroscopy, 129:2 (2021), 185–190 5
65. А. В. Водопьянов, С. А. Гарахин, И. Г. Забродин, С. Ю. Зуев, А. Я. Лопатин, А. Н. Нечай, А. Е. Пестов, А. А. Перекалов, Р. С. Плешков, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Р. М. Смертин, Б. А. Уласевич, Н. И. Чхало, “Измерения абсолютных интенсивностей спектральных линий ионов Kr, Ar и O в диапазоне длин волн 10–18 нм при импульсном лазерном возбуждении”, Квантовая электроника, 51:8 (2021),  700–707  mathnet  elib [A. V. Vodopyanov, S. A. Garakhin, I. G. Zabrodin, S. Yu. Zuev, A. Ya. Lopatin, A. N. Nechai, A. E. Pestov, A. A. Perekalov, R. S. Pleshkov, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, R. M. Smertin, B. A. Ulasevich, N. I. Chkhalo, “Measurements of the absolute intensities of spectral lines of Kr, Ar, and O ions in the wavelength range of 10–18 nm under pulsed laser excitation”, Quantum Electron., 51:8 (2021), 700–707  isi  scopus] 8
2020
66. М. Н. Торопов, А. А. Ахсахалян, М. В. Зорина, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, Ю. М. Токунов, “Получение гладких высокоточных поверхностей методом механического притира”, ЖТФ, 90:11 (2020),  1958–1964  mathnet  elib; M. N. Toropov, A. A. Akhsakhalyan, M. V. Zorina, N. N. Salashchenko, N. I. Chkhalo, Yu. M. Tokunov, “Obtaining of smooth high-precision surfaces by the mechanical lapping method”, Tech. Phys., 65:11 (2020), 1873–1879 9
67. И. Г. Забродин, М. В. Зорина, И. А. Каськов, И. В. Малышев, М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, А. К. Чернышев, Н. И. Чхало, “Ионно-пучковые методики прецизионной обработки оптических поверхностей”, ЖТФ, 90:11 (2020),  1922–1930  mathnet  elib; I. G. Zabrodin, M. V. Zorina, I. A. Kas'kov, I. V. Malyshev, M. S. Mikhailenko, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, A. K. Chernyshev, N. I. Chkhalo, “Ion-beam methods for high-precision processing of optical surfaces”, Tech. Phys., 65:11 (2020), 1837–1845 9
68. М. В. Зорина, И. И. Кузнецов, М. С. Михайленко, О. В. Палашов, А. Е. Пестов, Н. И. Чхало, “Подготовка поверхности материалов для создания композитных оптических элементов”, ЖТФ, 90:11 (2020),  1913–1916  mathnet  elib; M. V. Zorina, I. I. Kuznetsov, M. S. Mikhailenko, O. V. Palashov, A. E. Pestov, N. I. Chkhalo, “Material surface treatment for design of composite optical elements”, Tech. Phys., 65:11 (2020), 1828–1831 2
69. В. Н. Полковников, С. А. Гарахин, Д. C. Квашенников, И. В. Малышев, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Р. М. Смертин, Н. И. Чхало, “Многослойные зеркала Cr/Sc с улучшенным отражением для диапазона “окна прозрачности воды””, ЖТФ, 90:11 (2020),  1893–1897  mathnet  elib; V. N. Polkovnikov, S. A. Garakhin, D. S. Kvashennikov, I. V. Malyshev, N. N. Salashchenko, M. V. Svechnikov, R. M. Smertin, N. I. Chkhalo, “Multilayer Cr/Sc mirrors with improved reflection for the “water transparency window” range”, Tech. Phys., 65:11 (2020), 1809–1813 15
70. Р. М. Смертин, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, П. А. Юнин, А. Л. Тригуб, “Микроструктура переходных границ в многослойных Мо/Ве-системах”, ЖТФ, 90:11 (2020),  1884–1892  mathnet  elib; R. M. Smertin, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, N. I. Chkhalo, P. A. Yunin, A. L. Trigub, “The microstructure of transition boundaries in multilayer Mo/Be systems”, Tech. Phys., 65:11 (2020), 1800–1808 2
71. С. А. Гарахин, М. М. Барышева, Е. А. Вишняков, С. Ю. Зуев, А. С. Кириченко, С. В. Кузин, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Н. И. Чхало, “Широкополосные зеркала для спектрогелиографов солнечной обсерватории “КОРТЕС””, ЖТФ, 90:11 (2020),  1876–1883  mathnet  elib; S. A. Garakhin, M. M. Barysheva, E. A. Vishnyakov, S. Yu. Zuev, A. S. Kirichenko, S. V. Kuzin, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, M. V. Svechnikov, N. I. Chkhalo, “Broadband mirrors for spectroheliographs at the KORTES sun study facility”, Tech. Phys., 65:11 (2020), 1792–1799 3
72. Р. С. Плешков, С. Ю. Зуев, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Н. И. Чхало, P. Jonnard, “Сглаживающий эффект Si-слоев в многослойных зеркалах Be/Al для спектрального диапазона 17–31 nm”, ЖТФ, 90:11 (2020),  1870–1875  mathnet  elib; R. S. Pleshkov, S. Yu. Zuev, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, M. V. Svechnikov, N. I. Chkhalo, P. Jonnard, “The smoothing effect of si layers in multilayer Be/Al mirrors for the 17- to 31-nm range”, Tech. Phys., 65:11 (2020), 1786–1791 7
73. С. А. Гарахин, М. В. Зорина, С. Ю. Зуев, М. С. Михаленко, А. Е. Пестов, Р. С. Плешков, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, “Модификация и полировка штриха голографической дифракционной решетки пучком нейтрализованных ионов Ar”, ЖТФ, 90:11 (2020),  1864–1869  mathnet  elib; S. A. Garakhin, M. V. Zorina, S. Yu. Zuev, M. S. Mikhailenko, A. E. Pestov, R. S. Pleshkov, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, N. I. Chkhalo, “Modification and polishing of the holographic diffraction grating grooves by a neutralized Ar ion beam”, Tech. Phys., 65:11 (2020), 1780–1785 1
74. С. В. Кузин, А. А. Рева, С. А. Богачев, Н. Ф. Ерхова, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, В. Н. Полковников, “Применение новых типов многослойных зеркал нормального падения для целей солнечной спектроскопии вакуумного ультрафиолетового диапазона”, ЖТФ, 90:11 (2020),  1817–1820  mathnet  elib; S. V. Kuzin, A. A. Reva, S. A. Bogachev, N. F. Erkhova, N. N. Salashchenko, N. I. Chkhalo, V. N. Polkovnikov, “Application of novel multilayer normal-incidence mirrors for euv solar spectroscopy”, Tech. Phys., 65:11 (2020), 1736–1739 3
75. М. М. Барышева, С. Ю. Зуев, А. Я. Лопатин, В. И. Лучин, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, “Перспективы использования рентгеновских трубок с автоэмиссионным катодом и “прострельным” анодом в диапазоне мягкого рентгеновского излучения”, ЖТФ, 90:11 (2020),  1806–1816  mathnet  elib; M. M. Barysheva, S. Yu. Zuev, A. Ya. Lopatin, V. I. Luchin, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, N. N. Tsybin, N. I. Chkhalo, “Prospects for the use of X-ray tubes with a field-emission cathode and a through-type anode in the range of soft X-ray radiation”, Tech. Phys., 65:11 (2020), 1726–1735 4
76. П. Ю. Глаголев, Г. Д. Демин, Г. И. Орешкин, Н. И. Чхало, Н. А. Дюжев, “Оптимизация анодной мембраны с прострельной мишенью в системе источников мягкого рентгеновского излучения для проведения процессов рентгеновской нанолитографии”, ЖТФ, 90:11 (2020),  1789–1796  mathnet  elib; P. Yu. Glagolev, G. D. Demin, G. I. Oreshkin, N. I. Chkhalo, N. A. Djuzhev, “Optimization of an anode membrane with a transmission-type target in a system of soft X-ray sources for X-ray nanolithography”, Tech. Phys., 65:11 (2020), 1709–1716 1
77. А. Н. Нечай, С. А. Гарахин, А. Я. Лопатин, В. Н. Полковников, Д. Г. Реунов, Н. Н. Салащенко, М. Н. Торопов, Н. И. Чхало, Н. Н. Цыбин, “Эффективность генерации излучения в полосе 8–14 нм ионами криптона при импульсном лазерном возбуждении”, Квантовая электроника, 50:4 (2020),  408–413  mathnet  elib [A. N. Nechai, S. A. Garakhin, A. Ya. Lopatin, V. N. Polkovnikov, D. G. Reunov, N. N. Salashchenko, M. N. Toropov, N. I. Chkhalo, N. N. Tsybin, “Lasing efficiency of krypton ions in the (8–14)-nm band upon pulsed laser excitation”, Quantum Electron., 50:4 (2020), 408–413  isi  scopus] 7
78. М. М. Барышева, И. В. Малышев, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Н. И. Чхало, “Особенности применения многослойных зеркал для фокусировки и коллимации рентгеновского излучения источников на основе обратного комптоновского рассеяния”, Квантовая электроника, 50:4 (2020),  401–407  mathnet  elib [M. M. Barysheva, I. V. Malyshev, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, M. V. Svechnikov, N. I. Chkhalo, “Features of multilayer mirror application for focusing and collimating X-rays from inverse Compton scattering sources”, Quantum Electron., 50:4 (2020), 401–407  isi  scopus] 2
79. Н. И. Чхало, И. В. Малышев, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. Н. Торопов, “Рентгеновская оптика дифракционного качества: технология, метрология, применения”, УФН, 190:1 (2020),  74–91  mathnet  elib; N. I. Chkhalo, I. V. Malyshev, A. E. Pestov, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, M. N. Toropov, “Diffraction limited X-ray optics: technology, metrology, applications”, Phys. Usp., 63:1 (2020), 67–82  isi  scopus 25
2019
80. Н. А. Дюжев, Г. Д. Демин, Н. А. Филиппов, И. Д. Евсиков, П. Ю. Глаголев, М. А. Махиборода, Н. И. Чхало, Н. Н. Салащенко, С. В. Филиппов, А. Г. Колосько, Е. О. Попов, В. А. Беспалов, “Разработка технологических принципов создания системы микрофокусных рентгеновских трубок на основе кремниевых автоэмиссионных нанокатодов”, ЖТФ, 89:12 (2019),  1836–1842  mathnet  elib; N. A. Djuzhev, G. D. Demin, N. A. Filippov, I. D. Evsikov, P. Yu. Glagolev, M. A. Makhiboroda, N. I. Chkhalo, N. N. Salashchenko, S. V. Filippov, A. G. Kolosko, E. O. Popov, V. A. Bespalov, “Development of technological principles for creating a system of microfocus X-ray tubes based on silicon field emission nanocathodes”, Tech. Phys., 64:12 (2019), 1742–1748 13
81. А. А. Ахсахалян, Д. А. Гаврилин, И. В. Малышев, Н. Н. Салащенко, М. Н. Торопов, Б. А. Уласевич, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, “Ошибки измерений интерферометров с дифракционной волной сравнения”, ЖТФ, 89:11 (2019),  1789–1794  mathnet  elib; A. A. Akhsakhalyan, D. A. Gavrilin, I. V. Malyshev, N. N. Salashchenko, M. N. Toropov, B. A. Ulasevich, N. N. Tsybin, N. I. Chkhalo, “Measurement error of interferometers with diffraction reference wave”, Tech. Phys., 64:11 (2019), 1698–1703 3
82. Р. М. Смертин, С. А. Гарахин, С. Ю. Зуев, А. Н. Нечай, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, M. G. Sertsu, A. Sokolov, Н. И. Чхало, F. Schäfers, П. А. Юнин, “Влияние термического отжига на свойства многослойных зеркал Mo/Be”, ЖТФ, 89:11 (2019),  1783–1788  mathnet  elib; R. M. Smertin, S. A. Garakhin, S. Yu. Zuev, A. N. Nechai, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, M. V. Svechnikov, M. G. Sertsu, A. Sokolov, N. I. Chkhalo, F. Schäfers, P. A. Yunin, “Influence of thermal annealing on the properties of multilayer Mo/Be mirrors”, Tech. Phys., 64:11 (2019), 1692–1697 5
83. С. Ю. Зуев, Р. С. Плешков, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Н. И. Чхало, F. Schäfers, M. G. Sertsu, A. Sokolov, “Влияние барьерных слоев бериллия на свойства многослойных зеркал Mo/Si”, ЖТФ, 89:11 (2019),  1779–1782  mathnet  elib; S. Yu. Zuev, R. S. Pleshkov, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, M. V. Svechnikov, N. I. Chkhalo, F. Schäfers, M. G. Sertsu, A. Sokolov, “Influence of beryllium barrier layers on the properties of Mo/Si multilayer mirrors”, Tech. Phys., 64:11 (2019), 1688–1691 5
84. Д. C. Квашенников, С. Ю. Зуев, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, F. Delmotte, E. Meltchakov, “Многослойные зеркала Ag/Y для спектрального диапазона 9–11 nm”, ЖТФ, 89:11 (2019),  1774–1778  mathnet  elib; D. S. Kvashennikov, S. Yu. Zuev, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, N. I. Chkhalo, F. Delmotte, E. Meltchakov, “Multilayer Ag/Y mirrors for the spectral range of 9–11 nm”, Tech. Phys., 64:11 (2019), 1684–1687 2
85. А. А. Ахсахалян, А. Д. Ахсахалян, С. А. Гарахин, Н. Ф. Ерхова, А. С. Кириченко, С. В. Кузин, Н. Н. Салащенко, М. Н. Торопов, Н. И. Чхало, “Изготовление и исследование свойств вогнутого кристаллического зеркала для проекта КОРТЕС”, ЖТФ, 89:11 (2019),  1770–1773  mathnet  elib; A. A. Akhsakhalyan, A. D. Akhasalyan, S. A. Garakhin, N. F. Erkhova, A. S. Kirichenko, S. V. Kuzin, N. N. Salashchenko, M. N. Toropov, N. I. Chkhalo, “Fabrication and study of a concave crystal mirror for the KORTES project”, Tech. Phys., 64:11 (2019), 1680–1683 3
86. М. М. Барышева, С. А. Гарахин, С. Ю. Зуев, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Р. М. Смертин, Н. И. Чхало, E. Meltchakov, “Оптимизация состава, синтез и изучение широкополосных многослойных зеркал для ЭУФ диапазона”, ЖТФ, 89:11 (2019),  1763–1769  mathnet  elib; M. M. Barysheva, S. A. Garakhin, S. Yu. Zuev, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, M. V. Svechnikov, R. M. Smertin, N. I. Chkhalo, E. Meltchakov, “Optimization of composition, synthesis, and study of broadband multilayer mirrors for the EUV spectral range”, Tech. Phys., 64:11 (2019), 1673–1679 7
87. Н. И. Чхало, М. В. Зорина, И. В. Малышев, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Д. С. Казаков, A. В. Мильков, И. Л. Струля, “Бериллий как материал для термостойких рентгеновских зеркал”, ЖТФ, 89:11 (2019),  1686–1691  mathnet  elib; N. I. Chkhalo, M. V. Zorina, I. V. Malyshev, A. E. Pestov, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, D. S. Kazakov, A. V. Mil'kov, I. L. Strulya, “Beryllium as a material for thermally stable X-ray mirrors”, Tech. Phys., 64:11 (2019), 1596–1601 6
88. С. Ю. Зуев, А. Я. Лопатин, В. И. Лучин, Н. Н. Салащенко, Д. А. Татарский, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, “Исследование оптических, механических и термических свойств свободновисящих пленок на основе нанокомпозитных материалов MoSi$_{2}$N$_{x}$ и ZrSi$_{2}$N$_{y}$”, ЖТФ, 89:11 (2019),  1680–1685  mathnet  elib; S. Yu. Zuev, A. Ya. Lopatin, V. I. Luchin, N. N. Salashchenko, D. A. Tatarskii, N. N. Tsybin, N. I. Chkhalo, “Optical, mechanical, and thermal properties of free-standing MoSi$_{2}$N$_{x}$ и ZrSi$_{2}$N$_{y}$ nanocomposite films”, Tech. Phys., 64:11 (2019), 1590–1595 6
89. А. Н. Нечай, А. А. Перекалов, Н. И. Чхало, Н. Н. Салащенко, “Эмиссионные свойства лазерной плазмы при ее возбуждении на молекулярно-кластерных струях углекислоты”, ЖТФ, 89:11 (2019),  1656–1662  mathnet  elib; A. N. Nechai, A. A. Perekalov, N. I. Chkhalo, N. N. Salashchenko, “Emission properties of laser plasma excited on molecular-cluster carbon dioxide jets”, Tech. Phys., 64:11 (2019), 1566–1572 2
90. А. К. Чернышев, И. В. Малышев, А. Е. Пестов, Н. И. Чхало, “Моделирование процесса коррекции локальных ошибок формы поверхности малоразмерным ионным пучком”, ЖТФ, 89:11 (2019),  1650–1655  mathnet  elib; A. K. Chernyshev, I. V. Malyshev, A. E. Pestov, N. I. Chkhalo, “Simulation of local error correction of the surface shape by a low-dimensional ion beam”, Tech. Phys., 64:11 (2019), 1560–1565 3
91. А. Н. Нечай, А. А. Перекалов, Н. И. Чхало, Н. Н. Салащенко, “Наблюдение лазерной искры на скачке уплотнения в газоструйной мишени”, Письма в ЖТФ, 45:19 (2019),  14–16  mathnet  elib; A. N. Nechai, A. A. Perekalov, N. I. Chkhalo, N. N. Salashchenko, “Observation of laser-induced spark in the density jump in a gas-jet target”, Tech. Phys. Lett., 45:10 (2019), 970–972 4
92. В. Н. Полковников, Н. И. Чхало, E. Meltchakov, F. Delmotte, С. Ю. Зуев, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Н. Н. Цыбин, “Стабильные многослойные отражающие покрытия на длину волны $\lambda$(HeI) = 58.4 nm для солнечного телескопа проекта КОРТЕС”, Письма в ЖТФ, 45:3 (2019),  26–29  mathnet  elib; V. N. Polkovnikov, N. I. Chkhalo, E. Meltchakov, F. Delmotte, S. Yu. Zuev, N. N. Salashchenko, M. V. Svechnikov, N. N. Tsybin, “Stable multilayer reflective coatings for $\lambda$(HeI) = 58.4 nm for the kortes solar telescope”, Tech. Phys. Lett., 45:2 (2019), 85–88 8
93. М. М. Барышева, С. А. Гарахин, С. Ю. Зуев, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Н. И. Чхало, С. Юлин, “Сравнение подходов в изготовлении широкополосных зеркал для ЭУФ диапазона: апериодические и стековые структуры”, Квантовая электроника, 49:4 (2019),  380–385  mathnet  elib [M. M. Barysheva, S. A. Garakhin, S. Yu. Zuev, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, M. V. Svechnikov, N. I. Chkhalo, S. Yulin, “Comparison of approaches in the manufacture of broadband mirrors for the EUV range: aperiodic and stack structures”, Quantum Electron., 49:4 (2019), 380–385  isi  scopus] 12
2018
94. П. С. Буторин, Ю. М. Задиранов, С. Ю. Зуев, С. Г. Калмыков, В. Н. Полковников, М. Э. Сасин, Н. И. Чхало, “Абсолютно калиброванные спектрально разрешенные измерения интенсивности излучения Xe лазерной плазмы в дальнем ультрафиолетовом диапазоне”, ЖТФ, 88:10 (2018),  1554–1558  mathnet  elib; P. S. Butorin, Yu. M. Zadiranov, S. Yu. Zuev, S. G. Kalmykov, V. N. Polkovnikov, M. È. Sasin, N. I. Chkhalo, “Absolutely calibrated spectrally resolved measurements of Xe laser plasma radiation intensity in the EUV range”, Tech. Phys., 63:10 (2018), 1507–1510 12
2017
95. С. А. Гарахин, И. Г. Забродин, С. Ю. Зуев, И. А. Каськов, А. Я. Лопатин, А. Н. Нечай, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, М. В. Свечников, “Лабораторный рефлектометр для исследования оптических элементов в диапазоне длин волн 5 – 50 нм: описание и результаты тестирования”, Квантовая электроника, 47:4 (2017),  385–392  mathnet  elib [S. A. Garakhin, I. G. Zabrodin, S. Yu. Zuev, I. A. Kas'kov, A. Ya. Lopatin, A. N. Nechai, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, N. N. Tsybin, N. I. Chkhalo, M. V. Svechnikov, “Laboratory reflectometer for the investigation of optical elements in a wavelength range of 5 – 50 nm: description and testing results”, Quantum Electron., 47:4 (2017), 385–392  isi  scopus] 24
96. С. А. Гарахин, Е. Н. Мельчаков, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, “Влияние структурных дефектов апериодических многослойных зеркал на свойства отраженных (суб)фемтосекундных импульсов”, Квантовая электроника, 47:4 (2017),  378–384  mathnet  elib [S. A. Garakhin, E. N. Meltchakov, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, N. I. Chkhalo, “Effect of structural defects of aperiodic multilayer mirrors on the properties of reflected (sub)femtosecond pulses”, Quantum Electron., 47:4 (2017), 378–384  isi  scopus] 10
2016
97. М. В. Зорина, С. Ю. Зуев, М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, “Повышение дифракционной эффективности решеток-эшелеттов за счет полировки поверхности штриха ионно-пучковым травлением”, Письма в ЖТФ, 42:16 (2016),  34–40  mathnet  elib; M. V. Zorina, S. Yu. Zuev, M. S. Mikhailenko, A. E. Pestov, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, N. I. Chkhalo, “The diffraction efficiency of echelle gratings increased by ion-beam polishing of groove surfaces”, Tech. Phys. Lett., 42:8 (2016), 844–847 13
98. П. К. Гайкович, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, Ф. Шеферс, А. Соколов, “Влияние шероховатостей, детерминированных и случайных ошибок в толщинах пленок на отражательные характеристики апериодических зеркал для ЭУФ диапазона”, Квантовая электроника, 46:5 (2016),  406–413  mathnet  elib [P. K. Gaikovich, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, N. I. Chkhalo, F. Schäfers, A. Sokolov, “Effect of roughness, deterministic and random errors in film thickness on the reflecting properties of aperiodic mirrors for the EUV range”, Quantum Electron., 46:5 (2016), 406–413  isi  scopus] 8
99. А. Н. Нечай, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. Н. Торопов, Н. И. Чхало, Н. Н. Цыбин, А. В. Щербаков, “Рентгенооптическая система для получения изображения лазерного факела с пространственным разрешением до 70 нм”, Квантовая электроника, 46:4 (2016),  347–352  mathnet  elib [A. N. Nechai, A. E. Pestov, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, M. N. Toropov, N. I. Chkhalo, N. N. Tsybin, A. V. Shcherbakov, “X-ray optical system for imaging laser plumes with a spatial resolution of up to 70 nm”, Quantum Electron., 46:4 (2016), 347–352  isi  scopus] 3
2013
100. М. М. Барышева, Ю. А. Вайнер, Б. А. Грибков, М. В. Зорина, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, А. В. Щербаков, “Применение мягкого рентгеновского излучения для исследования сверхгладких оптических поверхностей и многослойных элементов”, ЖТФ, 83:9 (2013),  134–142  mathnet  elib; M. M. Barysheva, Yu. A. Vainer, B. A. Gribkov, M. V. Zorina, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, N. I. Chkhalo, A. V. Shcherbakov, “Investigation of supersmooth optical surfaces and multilayer elements using soft X-ray radiation”, Tech. Phys., 58:9 (2013), 1371–1379 7
2012
101. П. Н. Аруев, М. М. Барышева, Б. Я. Бер, Н. В. Забродская, В. В. Забродский, А. Я. Лопатин, А. Е. Пестов, М. В. Петренко, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, В. Л. Суханов, Н. И. Чхало, “Кремниевый фотодиод для экстремального ультрафиолетового диапазона спектра с селективным Zr/Si-покрытием”, Квантовая электроника, 42:10 (2012),  943–948  mathnet  elib [P. N. Aruev, M. M. Barysheva, B. Ya. Ber, N. V. Zabrodskaya, V. V. Zabrodskii, A. Ya. Lopatin, A. E. Pestov, M. V. Petrenko, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, V. L. Sukhanov, N. I. Chkhalo, “Silicon photodiode with selective Zr/Si coating for extreme ultraviolet spectral range”, Quantum Electron., 42:10 (2012), 943–948  isi  scopus] 28
102. М. М. Барышева, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, М. Н. Торопов, Н. И. Чхало, “Прецизионная изображающая многослойная оптика для мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазонов”, УФН, 182:7 (2012),  727–747  mathnet  elib; M. M. Barysheva, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, M. N. Toropov, N. I. Chkhalo, “Precision imaging multilayer optics for soft X-rays and extreme ultraviolet bands”, Phys. Usp., 55:7 (2012), 681–699  isi  elib  scopus 61
2008
103. A. В. Водопьянов, C. В. Голубев, Д. А. Мансфельд, А. Г. Николаев, К. П. Савкин, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, Г. Ю. Юшков, “Источник жесткого ультрафиолетового излучения на основе ЭЦР разряда”, Письма в ЖЭТФ, 88:2 (2008),  103–106  mathnet; A. V. Vodopyanov, S. V. Golubev, D. A. Mansfeld, A. G. Nikolaev, K. P. Savkin, N. N. Salashchenko, N. I. Chkhalo, G. Yu. Yushkov, “Extreme-ultraviolet source based on the electron-cyclotron-resonance discharge”, JETP Letters, 88:2 (2008), 95–98  isi  scopus 17
104. Ю. Э. Бороздин, Е. Д. Казаков, В. И. Лучин, Н. Н. Салащенко, И. Ю. Толстихина, В. В. Чернов, Н. И. Чхало, А. П. Шевелько, О. Ф. Якушев, “Рентгеновская и вакуумно-ультрафиолетовая спектроскопии плазмы с использованием новых фокусирующих многослойных структур”, Письма в ЖЭТФ, 87:1 (2008),  33–35  mathnet; Yu. È. Borozdin, E. D. Kazakov, V. I. Luchin, N. N. Salashchenko, I. Yu. Tolstikhina, V. V. Chernov, N. I. Chkhalo, A. P. Shevel'ko, O. F. Yakushev, “X-ray and vacuum-ultraviolet plasma spectroscopy with the use of new focusing multilayer structures”, JETP Letters, 87:1 (2008), 27–29  isi  scopus 7
105. М. С. Бибишкин, Е. Д. Казаков, В. И. Лучин, Н. Н. Салащенко, В. В. Чернов, Н. И. Чхало, А. П. Шевелько, “Новые фокусирующие многослойные структуры для рентгеновской спектроскопии плазмы”, Квантовая электроника, 38:2 (2008),  169–171  mathnet  elib [M. S. Bibishkin, E. D. Kazakov, V. I. Luchin, N. N. Salashchenko, V. V. Chernov, N. I. Chkhalo, A. P. Shevel'ko, “New focusing multilayer structures for X-ray plasma spectroscopy”, Quantum Electron., 38:2 (2008), 169–171  isi  scopus] 6
2006
106. Е. Л. Панкратов, Н. И. Чхало, “Тепловые нагрузки рентгеновских трубок с неподвижным анодом при длительных выдержках”, ТВТ, 44:5 (2006),  770–776  mathnet  elib; E. L. Pankratov, N. I. Chkhalo, “Thermal loads of X-ray tubes with a fixed anode under long-duration exposure”, High Temperature, 44:5 (2006), 766–772  elib  scopus 3
2023
107. С. А. Гарахин, А. Я. Лопатин, А. Н. Нечай, А. А. Перекалов, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, “Дисперсионные элементы зеркального спектрометра на диапазон 7–30 nm”, ЖТФ, 93:7 (2023),  1002–1008  mathnet  elib
2020
108. В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Н. И. Чхало, “Многослойная рентгеновская оптика на основе бериллия”, УФН, 190:1 (2020),  92–106  mathnet  elib; V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, M. V. Svechnikov, N. I. Chkhalo, “Beryllium-based multilayer X-ray optics”, Phys. Usp., 63:1 (2020), 83–95  isi  scopus 53
2018
109. А. В. Гапонов, Г. Г. Денисов, А. Г. Забродский, А. Г. Литвак, Е. А. Мареев, Н. Н. Салащенко, А. М. Сергеев, Р. А. Сурис, Е. А. Хазанов, В. Л. Вакс, В. И. Гавриленко, В. В. Курин, А. А. Фраерман, Н. И. Чхало, В. И. Шашкин, “Захарий Фишелевич Красильник (к 70-летию со дня рождения)”, Физика и техника полупроводников, 52:2 (2018),  285–286  mathnet  elib
110. В. И. Гавриленко, С. В. Гапонов, Г. Г. Денисов, А. В. Латышев, А. Г. Литвак, Е. А. Мареев, Н. Н. Салащенко, А. М. Сергеев, Р. А. Сурис, О. В. Руденко, Е. А. Хазанов, Н. И. Чхало, “Захарий Фишелевич Красильник (к 70-летию со дня рождения)”, УФН, 188:1 (2018),  119–120  mathnet  elib; V. I. Gavrilenko, S. V. Gaponov, G. G. Denisov, A. V. Latyshev, A. G. Litvak, E. A. Mareev, N. N. Salashchenko, A. M. Sergeev, R. A. Suris, O. V. Rudenko, E. A. Khazanov, N. I. Chkhalo, “Zakharii Fishelevich Krasilnik (on his 70th birthday)”, Phys. Usp., 61:1 (2018), 111–112  isi

Организации