Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov
RUS  ENG    JOURNALS   PEOPLE   ORGANISATIONS   CONFERENCES   SEMINARS   VIDEO LIBRARY   PACKAGE AMSBIB  
General information
Latest issue
Archive

Search papers
Search references

RSS
Latest issue
Current issues
Archive issues
What is RSS


Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov:
Year:
Volume:
Issue:
Page:
Find




Personal entry:
Login:
Password:
Save password
Enter
Forgotten password?
Register

Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov, 1989, Volume 23, Issue 12, Pages 2221–2223 (Mi phts3658)  
Short Notes

Влияние параметров импульсного электронного облучения на эффективность образования дефектов в кремнии

A. G. Abdusattarov, V. V. Emtsev, T. V. Mashovets
Full-text PDF (464 kB)
Document Type: Article
Language: Russian
Citation: A. G. Abdusattarov, V. V. Emtsev, T. V. Mashovets, “Влияние параметров импульсного электронного облучения на эффективность образования дефектов в кремнии”, Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov, 23:12 (1989), 2221–2223
Citation in format AMSBIB
\Bibitem{AbdEmtMas89}
\by A.~G.~Abdusattarov, V.~V.~Emtsev, T.~V.~Mashovets
\paper Влияние параметров импульсного электронного облучения
на эффективность образования дефектов в~кремнии
\jour Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov
\yr 1989
\vol 23
\issue 12
\pages 2221--2223
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/phts3658}
Linking options:
  • https://www.mathnet.ru/eng/phts3658
  • https://www.mathnet.ru/eng/phts/v23/i12/p2221
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov
    Statistics & downloads:
    Abstract page:124
    Full-text PDF :39
     
      Contact us:
    		  Terms of Use  Registration to the website  Logotypes © Steklov Mathematical Institute RAS, 2025