|
Математическое моделирование, 1989, том 1, номер 11, страницы 58–67
(Mi mm2649)
|
|
|
|
Вычислительный эксперимент в науке и технике
Модель термического окисления кремния
К. А. Волосов, В. Г. Данилов
Аннотация:
В работе построено асимптотическое решение задачи о термическом окислении кремния с учетом связанного электрического заряда на движущейся поверхности раздела фаз кремний-диоксид кремния в приближении небольших электрических полей.
Поступила в редакцию: 24.05.1989
Образец цитирования:
К. А. Волосов, В. Г. Данилов, “Модель термического окисления кремния”, Матем. моделирование, 1:11 (1989), 58–67
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/mm2649 https://www.mathnet.ru/rus/mm/v1/i11/p58
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 874 | PDF полного текста: | 453 | Список литературы: | 1 | Первая страница: | 2 |
|