|
|
|
Публикации в базе данных Math-Net.Ru |
Цитирования |
|
2023 |
| 1. |
Х. Т. Доан, Д. А. Голосов, Дж. Джанг, Н. А. Кананович, С. М. Завадский, С. Н. Мельников, “Влияние способа подачи газов в камеру на процессы реактивного магнетронного распыления Ti–Al составной мишени”, ЖТФ, 93:3 (2023), 409–416   |
1
|
| 2. |
Х. Т. Доан, Д. А. Голосов, Дж. Джанг, Н. А. Кананович, С. М. Завадский, С. Н. Мельников, “Влияние степени легирования алюминием на свойства пленок оксида титана-алюминия”, ПФМТ, 2023, № 2(55), 74–82 |
|
2022 |
| 3. |
Х. Т. Доан, Д. А. Голосов, В. А. Бурдовицин, С. М. Завадский, С. Н. Мельников, “Особенности реактивного магнетронного нанесения пленок оксида тантала при различных способах подачи газа в камеру”, ПФМТ, 2022, № 3(52), 97–104 |
|
2020 |
| 4. |
Н. Вилья, Д. А. Голосов, С. Н. Мельников, Т. Д. Нгуен, А. Д. Голосов, Э. Е. Литвин, Н. Н. Лам, “Формирование пленок оксида тантала на подложках диаметром 200 миллиметров”, ПФМТ, 2020, № 1(42), 12–17 |
1
|
|
2018 |
| 5. |
Д. Э. Окоджи, Д. А. Голосов, С. Н. Мельников, С. М. Завадский, В. В. Колос, Е. А. Поплевка, Ю. А. Жукович, “Сегнетоэлектрические свойства пленок танталата стронция-висмута, нанесенных методом ВЧ магнетронного распыления”, ПФМТ, 2018, № 1(34), 33–37 |
|
2016 |
| 6. |
А. П. Достанко, Д. А. Голосов, С. М. Завадский, С. Н. Мельников, Д. Э. Окоджи, Д. Д. Котинго, Г. М. Рубан, “Формирование пленок нитрида титана методом реактивного магнетронного распыления при пониженном давлении”, ПФМТ, 2016, № 2(27), 12–17 |
2
|
|
2010 |
| 7. |
Д. А. Голосов, С. Н. Мельников, С. П. Кундас, А. П. Достанко, “Прогнозирование эрозии мишени магнетронных распылительных систем”, ПФМТ, 2010, № 2(3), 62–67 |
|
