|
|
|
Публикации в базе данных Math-Net.Ru |
Цитирования |
|
2021 |
| 1. |
С. Д. Полетаев, А. И. Любимов, “Особенности согласования нижнего электрода с высокочастотным генератором смещения при реактивно-ионном травлении массивных подложек”, ЖТФ, 91:4 (2021), 657–663   ; S. D. Poletayev, A. I. Lyubimov, “Specific features of matching of a lower electrode and an RF bias generator for reactive ion etching of bulk substrates”, Tech. Phys., 66:12 (2021), 1294–1300  |
1
|
| 2. |
С. Д. Полетаев, А. И. Любимов, “Влияние асимметрии расположения металлических масок на согласование нижнего электрода с высокочастотным генератором смещения при реактивно-ионном травлении массивных подложек”, Физика и техника полупроводников, 55:12 (2021), 1255–1259 |
| 3. |
С. Д. Полетаев, А. И. Любимов, “Влияние металлических масок на согласование нижнего электрода с высокочастотным генератором смещения при реактивно-ионном травлении массивных подложек”, Письма в ЖТФ, 47:11 (2021), 44–47 ; S. D. Poletayev, A. I. Lyubimov, “The influence of metal masks on matching of the lower electrode and a high-frequency bias generator at reactive ion etching of large substrates”, Tech. Phys. Lett., 47:8 (2021), 569–572 |
|
2016 |
| 4. |
С. Д. Полетаев, С. Г. Волотовский, “Анализ погрешностей лазерной записи оптических микроструктур на плёнках молибдена”, Компьютерная оптика, 40:3 (2016), 422–426 |
1
|
| 5. |
Н. Л. Казанский, С. Д. Полетаев, “Численное моделирование процесса абляции тонких пленок молибдена под действием лазерного излучения”, ЖТФ, 86:9 (2016), 1–6 ; N. L. Kazanskii, S. D. Poletayev, “Numerical simulation of the ablation of thin molybdenum films under laser irradiation”, Tech. Phys., 61:9 (2016), 1279–1285 |
11
|
| 6. |
А. В. Волков, Н. Л. Казанский, О. Ю. Моисеев, В. Д. Паранин, С. Д. Полетаев, И. В. Чистяков, “Особенности процесса воздействия лазерного излучения на тонкие пленки молибдена”, ЖТФ, 86:4 (2016), 101–105 ; A. V. Volkov, N. L. Kazanskii, O. Yu. Moiseev, V. D. Paranin, S. D. Poletayev, I. V. Chistyakov, “Specific features of the laser irradiation of thin molybdenum films”, Tech. Phys., 61:4 (2016), 579–583 |
6
|
| 7. |
Н. Л. Казанский, О. Ю. Моисеев, С. Д. Полетаев, “Формирование микрорельефа методом термического окисления пленок молибдена”, Письма в ЖТФ, 42:3 (2016), 106–110 ; N. L. Kazanskii, O. Yu. Moiseev, S. D. Poletayev, “Microprofile formation by thermal oxidation of molybdenum films”, Tech. Phys. Lett., 42:2 (2016), 164–166 |
55
|
|
2015 |
| 8. |
С. Н. Хонина, С. А. Дегтярев, А. П. Порфирьев, О. Ю. Моисеев, С. Д. Полетаев, А. С. Ларькин, А. Б. Савельев-Трофимов, “Исследование фокусировки в близкорасположенные световые пятна при освещении дифракционных оптических элементов коротким импульсным лазерным пучком”, Компьютерная оптика, 39:2 (2015), 187–196 |
8
|
| 9. |
А. В. Волков, Н. Л. Казанский, О. Ю. Моисеев, С. Д. Полетаев, “Термоокислительная деструкция пленок молибдена при лазерной абляции”, ЖТФ, 85:2 (2015), 107–111 ; A. V. Volkov, N. L. Kazanskii, O. Yu. Moiseev, S. D. Poletayev, “Thermal oxidative degradation of molybdenum films under laser ablation”, Tech. Phys., 60:2 (2015), 265–269 |
17
|
|
2014 |
| 10. |
А. В. Волков, О. Ю. Моисеев, С. Д. Полетаев, И. В. Чистяков, “Применение тонких плёнок молибдена для контактных масок при изготовлении микрорельефов элементов дифракционной оптики”, Компьютерная оптика, 38:4 (2014), 757–762 |
|
